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产品 · 介绍
分析检测仪器
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ME-L 穆勒矩阵椭偏仪
    一、产品介绍：

    1、超宽的光谱范围：采用氘灯和卤素灯复合光源，光谱覆盖紫外到近红外范围（380-1000nm）支持拓展至200-1650nm

    2、双旋转补偿器调制：高精度旋转与触发同步控制，实现高速光谱数据采集

    3、全穆勒矩阵测量：基于双旋转补偿器配置，可一次获取穆勒矩阵的16个元素，相对于传统光谱椭偏仪可获取更加丰富全面的测量信息

    4、超级消色差补偿设计：专利补偿器技术，适应从深紫外到近红外宽光谱范围内高精度相位调制要求

    5、丰富的材料数据库和算法模型：数百种材料数据库、多种算法模型库、涵盖了目前绝大部分的光学材料

    6、向导式交互界面：软件向导交互式人机界面操作，为用户提供优质操作体验

    7、纳米光栅分析能力：先进分析算法模型实现各种纳米光栅结构周期、线宽、线高、侧壁角、粗糙度等几何形貌信息提取



    二、技术参数：

    基本功能 一次性获取穆勒矩阵、Psi/Delta、N/C/S、R/T等光谱
    光谱范围 380-1000nm（210-1650nm可选）
    测量时间 1-8s
    入射角范围 45-90°
    光斑尺寸 2-3mm/200um
    重复性精度 0.005nm(100nmSiO2硅片)
    绝对精度
    （空气介质）     		 椭偏参数：ψ=45±0.05°     Δ=0±0.01°
    穆勒矩阵：对角元素m=1±0.005  非对角元素m=0±0.005
    分析软件 多达数百种光学材料库，支持用户自定义
    多层各向同性/异性光学薄膜、周期性光栅结构建模仿真与分析功能